Werkzeug-Konditionierungs-Ofen
Der Despatch-Werzeug- Konditionierungsofen hält Halbleiterteile und Werkzeuge sauber, trocken und bereit für sofortige Installation. Er ist speziel für atmosphärengeregelte Lagerung von Teilen, Werkzeugen und Abscheidungszielen.
Kontrollierte Atmosphäre - HEPA-Filter geben Bedingungen besser als Klasse 100. Eine saubere Stickstoffatmosphäre stellt sicher, daß die Teile nicht Wasserdampf ausgesetzt werden. Horizontale Luftströmung gibt gleichmäßige Temperaturen von Umgebungstemperatur bis 95°C.
Gepolsterte Ausroll-Fächer - Die Fächer sind für Halbleiterteile und Werkzeuge besonders konstruiert. Eine robuste Ausroll-Konstruktion erleichtert das Laden und Entladen schwerer Teile. Teflonpolsterung eliminiert Beschädigung durch Kratzen und Abrieb. (Standard für 300mm-Einheiten, Option für 200mm-Einheiten)
200mm und 300mm Größen - Öfen sind lieferbar in Größen die entweder für 200mm oder 300mm-Werkzeuge konstruiert sind.
Despatch-Qualität. -Vor dem Versand erhält jeder Ofen einen sorgfältigen Qualitäts- und Leistungstest. Falls gewünscht, kann der Ofen gereinigt und dreifach in einer Reinraum-Umgebung eingepackt werden, wodurch eine schnelle, kontaminationsfreie Installation in Ihrem Reinraum sichergestellt wird.
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- Bedingungen Klasse 100
- Stickstoffatmosphäre
- Temperaturen bis 95 °C
- Mit Teflon geschützte Ausroll-Fächer sind Standard für die 300mm Einheiten und Option für die 200mm-Einheiten.
