CT-150 und CT-200 Polyimid-Aushärt-Werkzeug

Ein erprobtes Inertatmosphären-Prozeßwerkzeug

Das Despatch-Polyimid-Aushärt-Werkzeug bietet eine einmalige “Kammer in Kammer  Konstriktion, welche Partikelkontamination und Sauerstoffkonzentration verringert unter Beibehaltung enger Temperaturgleichmäßigkeit und schnellen Aufheiz- und Abkühlrampen-Raten. Das Werkzeug is für manuelle Be-/Entladung von Kassetten konstruiert.

Theorie des Betriebs

  • Vorgeheizter und gefilterter Stickstoff wird in die Aushärtkammer eingebracht und strömt vertikal nach unten über die Scheiben zur Wärmeübertragung und für eine reine Umgebung.
  • Die innere “Ausheiz  Kammer hat keine bewegten Teile und bietet eine reine, als auch an Sauerstoff arme Umgebung für die Scheiben
  • Die äußere Heizkammer liefert enge Luftstrom-Temperaturgleichmäßigkeit an die innere “Aushärt  Kammer und stellt gleichmäßige Wärmeverteilung an die Aushärtkammer und die Scheiben sicher.
  • Das Werkzeugkonzept wurde über viele Jahre in anderen geschützten Wertzuwachs-Anwendungen verwendet, wie Photowiderstand- Kreuzverbindungen in Diskettenlaufwerk-Köpfen.

Typische Anwendungen

  • Aushärten von Polyimid-beschichteten Scheiben
  • BCB Ausbacken
  • Photowiderstand Aushärten

Ausrüstungsanforderungen

  • 80 psig Druckluft der Fabrik
  • 4 gpm Kühlwasser
  • 10 cfm Stickstoffversorgung
  • 480 oder 400 Volt - 3 Drei-Phasen-Strom

Polyimid Aushärtwerkzeug

Standardeigenschaften
Optionen
Spezifikationen
 
  • 150mm und 200mm Scheiben-Vermögen
  • Enge Temperaturgleichmäßigkeit (±2.5 C° bei 400°C)
  • Schnelle Rampenraten (5 C°/Minute Heizen und 2.5 C° Kühlen)
  • Niedriges Sauerstoffgehalts-Vermögen
  • Geringe Festkörperanteile (Klasse 100 und besser)
  • 8 Kassetten-Kapazität für 150mm-Scheiben und 6 Kassetten-Kapazität für 200mm-Scheiben
  • 450°C Maximale Betriebstemperatur
  • Mehrfach-Rezepte/Steuerungen