AST-3100 Automatisierte Polyimid-Aushärtung

Ein erprobtes 300mm thermisches Prozeßwerkzeug

Konstruiert zum automatisierten Ebenen-Verarbeiten von Scheiben, Despatch AST-3100 ist sowohl für 200mm als auch 300mm-Scheiben geeignet. Dieses automatisierte Polyimid-Aushärtwerkzeug erhöht den Durchlauf, eliminiert Handhabungsfehler und spart wertvollen Fußbodenplatz ein.

Thermische Daten - Das Despatch AST-3100 Polyimid-Aushärtwerkzeug bietet enge Temperaturgleichmäßigkeit. Das Werkzeug hält eine Gleichmäßigkeit von +/-1.0°C zwischen jeder Scheibe und über alle 50 Scheiben in der Kammer beim Eintauchen.

Durchsatz erhöhen, Fehler eliminieren und Ergonomie verbessern - Integration eines Brooks-Automatisiertes Scheiben-Handhabungssystems eliminiert teure Fehler, verbessert die Ergonomie und erhöht den Durchsatz. Die zwei Kammern des Ofens nehmen je 50 Scheiben auf und arbeiten unabhängig voneinander während des Prozeßzyklus. Despatch kann zusätzliche Wärmekammern hinzufügen um den Durchsatz zu erhöhen.

Wertvollen Reinraumplatz einsparen - Die kleine AST3100 Standfläche minimiert den benötigten Reinraumplatz und maximiert Ihre Produktionsumgebung. Kompatibel sowohl mit (?)- als auch auf der Stirnwand montierten Installationen.

Automatisiertes Polyimid-Aushärten

Standardeigenschaften
Optionen
Spezifikationen
 
  • Automatisierungsfunktion
  • Nimmt sowohl 200mm als auch 300mm-Scheiben auf.
  • Halbleiterindustrie Standardautomatisierung
  • Vier vorne zu öffnende vereinigte Hülsen (FOUP) Beladungsöffnungs-Stationen
  • Atmosphärischer Klasse 1 Reinraum-kompatibler Roboter
  • Optisch basierter Klasse 1 Laserkassette- Abbildungs-Sensor
  • Werkzeugkapazität 100 Scheiben mit Standard Zwei-Kammerkonfiguration
  • Inertatmosphäre
  • 350°C Maximale Betriebstemperatur
  • Temperaturgleichmäßigkeit ±1.0°C bei 350°C Eintauchtemperatur
  • Aktive Kühlung für schnelles Abkühlen
  • HEPA-Filter
  • Erfüllt SEMI S2/S8 und SEMATECH Anhänge A, B, und C
  • Graphische Benutzer-Schnittstelle (GUI)
  • Erfüllt 300mm SEMI Kommunikationsstandards