Reinprozeß-Chargen-Öfen
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LLC/LLD Stapelbare Reinraum Der Reinraum-Ofen ohne HEPA-Filter ist konstruiert um wertvolle Fußbodenfläche zu sparen und ein Maximum an ergonomischer Effizienz für Operateure zu geben. Perfekt zum Aushärten von Siliziumscheiben-Klebung und andere Halbleiter-Verpackungsprozesse Refüllt SEMI S2 und CE, programmierbare Steuerung, Luft- oder Inertatmosphäre Silikon-freie Modelle sind lieferbar. |
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LCC/LCD Stapelbarer Reinprozeß-Ofen Für Produktionsumgebungs-Prozesse, bei denen minimale Kontamination wesentlich ist. Die LCC und LCD-Serie-Öfen bieten die höchsten Standards der HEPA-Filterung. Der Umluftdurchsatz wird zu 100% gefiltert mit HEPA-Filter zum Betrieb bei ISO Klasse 5 (Klasse 100) oder besser innerhalb der Ofenkammer. Silikon-freie Modelle sind lieferbar. |
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14 cu ft Reinprozeß-Ofen Despatch-14 cubic foot Reinprozeß-Öfen sind konstruiert um die Anforderungen von Produktion und F&E-Umgebungen im großen Maßstab zu erfüllen. Lieferbar ist eine Vielzahl von maßgeschneiderten Optionen um Ihre spezifischen Bedürfnisse zu erfüllen. Maximale Temperaturen von 260°C oder 350°C, HEPA-Filtrierung, Luft, Klasse A oder Stickstoff-Atmosphären und Durchlauf-Modelle sind lieferbar. |
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AST-1100 Automatisiertes Photowiderstand-Ausbackwerkzeug Verwendung der Standard-Automatisierung der Halbleiterindustrie; AST-1100 bietet sowohl für 200mm als auch 300mm Siliziumscheiben Platz. Das Werkzeug erhöht den Durchsatz und schont wertvollen Fußbodenplatz. |
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AST-3100 Automatisiertes Polyimid-Aushärten Der AST3100 bietet Platz für 200mm und 300mm Scheiben bei Verdopplung des Durchsatzes und den Hochtemperaturbereich des AST1100. |
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CT-150 und CT-200 Polyimid-Aushärt-Werkzeug Die CT-150 und CT-200 Polyimid Aushärtwerkzeuge bieten eine einzigartige Konstruktion von "Kammer in einer Kammer" welche Teilchenkontamination und Sauerstoffkonzentration reduziert. Despatch- Polyimid-Aushärtewerkzeuge liefern eine in der Industrie führende Leistung bezüglich Temperaturgleichmäßigkeit in elektronischen Verpackungsanwendungen, welche sowohl Geräte-Verpacken und Siliziumscheiben-Verpacken einschließen. |
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SD Steriliations- und Depyrogenations-Öfen Diese, cGMP erfüllenden, ISO Klasse 5 Öfen, besitzen die schnellsten Aufheizraten und kürzesten verfügbaren Zyklus-Zeiten. Lieferbar ist ein umfassendes Nachweispaket für IQ,OQ und SQ. Isolatorintegration ist eine Option. |
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GW Serie Granulat-Trockner Konstruiert zum Trocknen von pharmazeutischen Materialien. Diese Öfen erzeugen Klasse 100-Bedingungen und erfüllen alle cGMPs. Sie besitzen ein einzigartiges horizontales Luftströmungs-Muster für schnelles, gleichmäßiges Trocknen ohne Verkrusten. |
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Werkzeug-Konditionierungs-Ofen Der Despatch-Werzeug-Konditionierungsofen hält Halbleiterteile und Werkzeuge sauber, trocken und bereit für sofortige Installation. Er ist speziell konstruiert für atmosphärengeregelte Lagerung von Teilen, Werkzeugen und Abscheidungszielen. |
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UV-360 Ultraviolett Dekontaminations-Kammern Diese Ultraviolett-Kammern bieten eine 6-log Reduktion biologischer Belastung von Materialien welche in einen sterilen Raum oder Barrierenisolator eingebracht werden. Die einzigartige, patentierte Konstruktion stellt sicher, daß alle Oberflächen einer keimabtötenden Wellenlänge ultravioletter Energie ausgesetzt werden. |
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Magnetische Vakuum-Glüh-Öfen Diese Öfen wurden entwickelt für Photowiderstand-Aushärten und magnetische Glühprozesse, erforderlich in der Produktion von Aufzeichnungsköpfen von Diskettenlaufwerken. Sie bieten ein enges Maß von Prozeßsteuerung und Überwachung plus Flexibilität für einen breite Vielfalt von Anwendungen. |
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