PCO2-14™ Polyimide Aushärten
Die PCO2-14™ Lösung für Polyimid-Aushärten ist ein Reinprozeß-Ofen, konstruiert für Anwendungen zum Polyimid-Ausbacken und Aushärten. Bei vielen Halbleiter Fertigungsumgebungen sind Eingangsmaschinen für Polyimid-Aushärten adaptiert. Dieser teure Prozeß resultiert darin, daß Ausrüstungen typischer Weise nicht für Polyimid-Aushärten geeignet sind bezüglich Reinheit, Inertatmosphären-Möglichkeit, Zykluszeit oder Datenerfassung.
PCO2-14™ optimiert den Polyimid-Aushärte-Prozeß für Halbleiter-Siliziumscheiben-Geräte. Es ermöglicht kurze Zykluszeiten und einen konsistenten, reproduzierbaren Aushärtungsprozeß für alle Siliziumscheiben in der Produktladung durch Kombination aller vier wichtigen Eigenschaften in einer einzigen kompakten Konstruktion: Reinprozeß-Betrieb (Klasse100 Umluft), Inertatmosphäre-Befähigung (<20 ppm Sauerstoff), Temperaturen bis zu 350°C, und schnelle Zykluszeiten mit +/- 1% Temperaturgleichmäßigkeit.
Wie auch bei anderen Despatch-thermischen Prozeßwerkzeugen, kann die PCO2-14™ Polyimid-Aushärtung vernetzt und von einem zentralen Platz gesteuert werden, wodurch die erforderliche Stellfläche minimiert und die Produktivität weiter verbessert wird. Atmosphärendaten können ebenfalls während des gesamten Zyklus aufgezeichnet werden.
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- Die Umluft wird zu 100% durch einen 99,99% HEPA (High Efficiency Particulate Air)-Filter gefiltert für Klasse 100 oder besseren Betrieb.
- 16 kW Heizerleistung
- Automatische Wasserregelung ist vorhanden mit einer Kühlwasserschlange des Typs 316L SST
- Zwei Edelstahl-Draht-Fächer justierbar auf 3"-Zentren.
- Maximum 50 lbs. pro Fach mit einer Gesamtkapazität von 300 lbs.
- Der Ofen enthält bis zu 11 Fächer.
