LCC/LCD Stapelbarer Reinprozeß-Ofen

Die Despatch-LCC und LCD-stapelbaren Reinprozeß-Öfen haben ein Edelstahl-Inneres und Äußeres, Robuste programmierbare Prozeßsteuerungen und eine Vielzahl von zugeschnittenen Optionen für Ihre spezifischen Bedürfnisse. Für Produktionsumgebungs-Prozesse, bei denen minimale Kontamination wesentlich ist;bieten die LCC und LCD-Serie-Öfen die höchsten Standards der HEPA-Filterung. Der umgewälzte Luftdurchsatz wird zu 100% filtriert mit HEPA-Filter zum Betrieb bei ISO Klasse 5 (Klasse 100) oder besser innerhalb der Ofenkammer. Typische Anwendungen für diese Öfen schließen ein: Matritzen-Verbindungs-Aushärten und andere Halbleiter-Verpackungsprozesse, Depyrogenation, Sterilisation und andere Trocknung für Biowissenschaften. Die Öfen erfüllen SEMI S2 und CE für universelle Akzeptanz und sind konfiguriert für 220/240 Volt und 50/60 Hz.

Diese Einheiten sind stapelbar um wertvollen Standplatz zu sparen und bieten maximale ergonomische Effizienz fürOperateure. Der Umwälzmotor ist auf der Rückseite des Ofens montiert, bietet bequemen Zugang und erlaubt es, bis zu drei Öfen aufeinander zu stapeln, wobei die Beladungshöhen noch ergonomisch akzeptabel sind.

Er ist lieferbar in zwei unterschiedlichen Atmosphären-Konfigurationen:

Luftatmosphäre -Ein Zwangs-Absauggebläse ist in der Lufttemperatureinheit enthalten für schnelle Abkühlung.

Inertatmosphäre - Erlaubt Stickstoff (oder anderes Inertgas) in die Kammer zu injizieren um den Sauerstoffgehalt zu erniedrigen und Oxydation der Produkte zu verhindern. Eine Wasserkühlschlange ist für schnelle Abkühlung eingebaut. Die Regelung des Stickstoffdurchsatzes und Wasserkühlung ist programmierbar durch den Protocol Plusâ„¢ Regler.